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石墨热场托杆的用途

石墨热场托杆是单晶硅或多晶硅生长设备(如直拉法Czochralski,简称CZ法或区熔法FZ法)中热场系统的关键部件,其核心用途与石墨材料的特性及热场环境需求密切相关。支撑与固定坩埚/籽晶杆坩埚支撑:在直拉法单晶硅生长中,石墨托杆通常位于热场底部,用于支撑装载多晶硅原料的石英坩埚。通过精确的机械设计,托杆需承受坩埚及熔硅的重量(可达数百公斤),同时保持热场结构的稳定性。籽晶杆定位:在区熔法中,托杆可能用于固定籽晶杆,确保其与多晶硅棒的精确对齐,为单晶生长提供初始晶核。

高效热传导与温度控制均匀热分布:石墨具有优异的导热性(约150 W/m·K),托杆通过传导热量,帮助热场实现梯度温度分布,满足晶体生长对温度场的严格要求(如直拉法中熔硅表面温度需精确控制在1420°C左右)。隔热与保温:托杆结构可能设计为中空或复合层结构,结合石墨毡等隔热材料,减少热量向设备外部散失,提升热场能效。

耐高温与化学惰性极端环境耐受:晶体生长需在惰性气体(如氩气)保护下,于1500°C以上高温进行。石墨托杆需承受此高温而不发生软化、变形或分解,确保热场长期稳定运行。抗化学腐蚀:石墨对熔硅、硅蒸气及杂质(如氧、碳)具有化学惰性,避免在高温下与硅材料反应,防止污染晶体或损坏托杆。

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