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石墨热场材料有哪些

石墨热场材料在机械工业(尤其是高温加工领域)中扮演关键角色,其核心材料及组件以石墨为主,并常与其他材料复合以提升性能。核心石墨材料组件石墨坩埚结构:多采用三瓣式设计,便于拆装且能有效防止硅液泄漏。性能:耐高温性:熔点达3650℃,可在真空或惰性气体环境中长期稳定工作。化学惰性:耐酸碱腐蚀,避免与熔融硅反应生成碳化硅杂质,满足半导体级硅材料纯度要求(如灰分<30ppm)。

寿命:使用寿命达30-50炉次,支持大尺寸单晶硅生长(如36英寸以上硅棒)。石墨加热器材料:以等静压石墨为主,支持2000℃以上稳定加热。优势:导电性:兼具导电性与结构稳定性,适配大功率加热需求。均匀性:通过优化设计实现热量均匀分布,降低晶体缺陷率。节能性:相比传统钨钼加热器,能耗降低30%。隔热系统材料:多层石墨毡或碳纤维复合材料,热反射率≥90%。功能:减少热损失:降低能耗20%-30%。保护炉体:防止高温对金属部件的损伤。结构支撑件组件:压环、保温盖、上下保温罩、坩埚托杆、托盘等。材料:细结构中粗石墨或进口等静压石墨,保证强度及纯度。设计:采用数控加工技术实现精度±0.05mm,减少装配应力。

复合增强材料石墨-碳碳复合材料应用:导流筒、紧固件等高温部件。优势:高温稳定性:尺寸稳定性高,适合长期高温环境。机械强度:抗压强度≥80MPa,满足大尺寸设备需求。石墨-陶瓷涂层工艺:热喷涂陶瓷涂层(如氧化铝、氧化钇)。功能:防污染:减少熔硅与石墨反应,提升材料纯度。耐冲刷:防止高压气流对石墨的侵蚀。石墨-石墨纸复合层位置:隔热部件内表面。作用:提高热反射率,进一步降低能耗。

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