石墨热场材料有哪些
石墨热场材料主要包括等静压石墨、碳碳复合材料、标准石墨保温材料,以及用于特定部件的石墨纸、石墨螺栓等辅助材料。核心材料等静压石墨:特性:等静压石墨具有成型规格大、坯料组织结构均匀、密度高、强度高、各向同性(特性与尺寸、形状、取样方向无关)等优点。应用:等静压石墨是制造单晶硅炉、金属连铸石墨结晶器和电火花加工用石墨电极等不可替代的材料。在直拉单晶硅热场中,等静压石墨部件有坩埚、加热器、电极、隔热遮蔽板、籽晶夹持器、旋转坩埚用的底座、各种圆板、热反射板等约30种。其中,80%的等静压石墨用于制造坩埚和加热器等。

碳碳复合材料:特性:碳碳复合材料是以碳(或石墨)纤维及其织物为增强材料,以碳(或石墨)为基体,通过加工处理和碳化处理制成的全碳质复合材料。它具有低密度、高强度、高比模量、高导热性、低膨胀系数、摩擦性能好,以及抗热冲击性能好、尺寸稳定性高等优点。应用:在光伏行业,碳碳复合材料已逐渐替代石墨材料,成为热场部件的主要材料。例如,2020年碳基复合材料在热场坩埚中占比达到95%以上,光伏、半导体两大行业硅片拉棒过程导流筒、保温筒占比达到55%以上。

辅助材料标准石墨保温材料:特性:由板状或者多层毯状石墨化碳纤维材料组成。应用:在靠近热场中心的内表面往往需要加覆一层石墨纸或碳碳复合材料薄板,用来提高热反射率和防止高压气流的冲刷。其他石墨部件:石墨纸:用于提高热反射率和防止高压气流的冲刷。石墨螺栓:用于连接和固定热场部件。保护板、保护套:为了防止漏硅,炉底、金属电极、托杆等都设置了保护板、保护套。
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