石墨热场烧结炉结构原理
石墨热场烧结炉的结构原理核心结构设计炉体结构双层水冷结构:炉体采用双层设计,中间通入循环冷却水,确保炉壳表面温度低于 60℃,保障操作安全并延长设备寿命。压力容器内层:炉内层为压力容器,可承受高温高压环境,适应不同工艺需求。模块化接口:炉侧配备进气、排气、抽真空、热电偶、压力传感器、安全阀及电极等接口,支持多功能扩展和快速维护。

加热系统石墨发热体:作为核心加热元件,石墨发热体具有高导电性、耐高温性和化学稳定性,通过电流直接加热炉内环境。感应加热(可选):部分型号采用中频感应加热技术,通过电磁感应在导电材料(如石墨坩埚)中产生涡流,实现快速升温至 3000℃以上。分区控温:炉体分为多个加热区,每个区域独立控制温度,确保炉内温度均匀性≤±1℃,满足高精度工艺要求。

保温与隔热多层复合保温层:由碳毡、石墨、钼片、不锈钢等材料组成,减少热量损失,提高能源利用效率。隔热屏设计:在坩埚与保温层之间设置隔热层,进一步降低热量散失,同时加速抽真空过程。气流控制系统独立气流循环:石墨密封箱内外气流完全分离,内气流通过专用管道充入和抽出,避免交叉污染;外气流形成独立循环,确保炉外环境稳定。气体净化装置:配备三级捕蜡器和真空泵油过滤系统,有效去除气体中的蜡质和杂质,保护真空泵并延长设备寿命。