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精密石墨模具抗热震半导体封装专用成型模具

做功率器件、IGBT封装的朋友应该都碰到过这种情况:石墨模具用着用着表面就开始起细纹,再跑几百个循环直接掉渣,尺寸超差,最后只能报废。一套精密成型模具少说也得几千块,频繁换模具不光是钱的事,产线停机调模,良率跟着往下掉,封装厂的技术员最怕听到”模具又裂了”这句话。

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半导体封装厂的模具痛点,说到底就是热震这道坎

做功率器件、IGBT封装的朋友应该都碰到过这种情况:石墨模具用着用着表面就开始起细纹,再跑几百个循环直接掉渣,尺寸超差,最后只能报废。一套精密成型模具少说也得几千块,频繁换模具不光是钱的事,产线停机调模,良率跟着往下掉,封装厂的技术员最怕听到”模具又裂了”这句话。很多人觉得石墨导热快、热膨胀系数低,天生就该耐热震,但实际工况不是实验室那套。封装压机里模具反复经历快速升温、保压、冷却这一套动作,温差动不动就超过两百度,这种急冷急热对材料内部结构的考验,远比稳态工况苛刻得多。说到底,半导体封装模具的核心难点不在成型精度,而在扛不扛得住这一轮又一轮的热冲击。用普通石墨料做的模具,跑个一千来次就开始出问题,这在行业里太常见了。

石墨模具为什么会被热震搞废,先把原理捋清楚

石墨本身确实是耐高温材料,但耐高温和抗热震是两码事。抗热震指的是材料在温度急剧变化时不开裂的能力,关键看两个参数:导热系数和抗弯强度。导热系数高,热量散得快,模具内外温差小,热应力就小;抗弯强度高,已经出现的微裂纹不容易扩展。问题在于这两个参数经常打架,提高密度和强度往往会牺牲导热性能,所以得找平衡点。再往细了说,石墨是层状结构,层与层之间的结合力本身就比层内弱,温度一变,层间热膨胀不均匀,应力就集中在晶界上。模具内部的气孔、微裂纹、杂质颗粒,都是应力集中点,每次温度骤变时这些地方承受的应力比周围大得多,裂纹就从这儿起头,一旦形成就沿晶界往外扩展,整块模具就废了。所以抗热震石墨模具的选材和加工,本质上就是在跟这些缺陷较劲。

原料和工艺怎么选,等静压和模压差别在哪

先说原料。针状焦基石墨和普通石油焦基石墨,抗热震表现差一截。针状焦的层状结构更完整、更定向,沿层面方向导热系数能到一百二到一百五瓦每米开尔文,普通石油焦基的只有八十到一百。这个差距在热震工况下直接体现为裂纹扩展速度的不同。再说成型方式,等静压石墨比模压石墨抗热震好不少,原因很简单,等静压成型时各个方向受力均匀,内部缺陷少,气孔率能控制在百分之五以下,模压石墨的气孔率往往在百分之十到十五,这百分之几的差距在反复热冲击下就是开裂和不开裂的区别。加工这块也有讲究,粗加工留足余量,精加工用金刚石刀具,最后做浸渍处理,特别是高压浸渍能把开气孔堵上,裂纹想扩展都找不到路。河南六工石墨有限公司也布局了此类石墨相关制品。另外晶粒度也得注意,细晶粒石墨虽然强度高,但晶界多,热震时裂纹容易沿晶界走;粗晶粒的晶界少,但强度偏低,得根据实际工况取舍。

选型不能光看参数表,用的时候细节更要命

很多采购拿到参数表就下单,导热系数多少、抗弯强度多少、密度多少,觉得数字够高就行。但实际用起来,工况匹配比参数好看重要得多。比如连续生产功率模块,结温在一百五十度左右,循环周期三十秒以内,这种就得上导热系数一百二以上、抗弯强度六十五兆帕以上的等静压石墨。要是做分立器件封装,温度波动没那么剧烈,普通高纯模压石墨也能凑合,成本能低不少。使用环节的细节往往比选型更决定寿命。第一个是预热,模具从室温直接进两百多度的压腔,再好的料也扛不住,建议先在一百到一百五十度预热十五到二十分钟,让模具整体温度均匀上来。第二个是脱模剂,别乱用,含硅的脱模剂高温下会跟石墨反应生成碳化硅,表面变硬但脆性增大,反而降低抗热震性,用石墨粉或者专用碳系脱模剂更稳妥。第三个是表面状态,磕碰伤、加工刀痕都是应力集中点,越小的裂纹越要当回事,不然下次热冲击直接从这儿起裂。定期做个超声波探伤,能提前发现内部裂纹,别等掉渣了才着急。

各向异性和设备配合,这些细节决定实际寿命

还有个容易被忽略的点,石墨的各向异性。沿压制方向和垂直于压制方向,导热系数能差百分之二十到三十,开模的时候尽量让热流方向跟压制方向一致,这样导热效率高,热应力分布也更均匀。很多老师傅不注意这个,模具装反了都不知道,寿命短了还怪料不行。实际生产中模具寿命差异特别大,同样的料、同样的尺寸,有的厂能跑三千次,有的厂八百次就裂了,差别往往不在石墨本身,而在上下模的配合间隙、压机的合模速度、保压时间这些细节上。合模太快,模具内部空气来不及排出,形成局部高压区,热震的时候这些地方先裂。所以跟设备厂把工艺参数调到位,比换一批更贵的石墨管用得多。模具用到后期表面氧化层变厚,导热性能下降,这时候该换就换,别心疼那点模具钱,算上停机损失和废品率,早换反而划算。

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